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    钨德赢vwin尤文图斯有什么用?

    作者: 百度文库 来源: 百度文库 时间:2018年08月02日
      钨德赢vwin尤文图斯经常作为物理气相沉积用溅射德赢vwin尤文图斯,在半导体领域用于制作栅电极、连接布线、扩散阻挡层等。钨德赢vwin尤文图斯主要应用于航天、稀土冶炼、电光源、化工设备、医疗器械、冶金机械、熔炼设备、石油、等领域。
      其中,纯钨德赢vwin尤文图斯主要用作金属层间的通孔和垂直接触的接触孔的填充物,即钨塞。而钨德赢vwin下载app德赢vwin尤文图斯,如WSi2,主要用在栅极多晶硅的上部作为多晶硅硅化物结构和局部互联线。随着半导体芯片尺寸越来越小,铜互连尺寸的缩小导致纳米尺度上电阻率的增加,这已成为制约半导体工业发展的一个技术瓶颈。有研究表明,难熔金属钨有望取代铜成为下一代的半导体布线金属材料。
      特点
      喷涂、烧结后的钨靶,具有99%的密度甚至更高、平均透明纹理的直径为100um甚至更小、含氧20ppm或更少,偏转角力为500Mpa左右的特性;提高未加工金属粉末的生产,提高烧结的能力,可以使钨靶的成本稳定在一个低价位。烧结后的钨靶密度高,具有传统的压制烧结方法所无法达到的高水准的透明框架,并且明显改善了偏转角力,以致颗粒物显着的减少。
      物理性质
      元素符号:W
      原子序数:74
      稳定同位素及其所占%:180(0.14);182(26.41);183(14.40);184(30.64);186(28.41)
      相对原子质量:183.85
      自由原子的电子层结构:1s22s22p63s23p63d104s24p64d104f145s25P65d46S2
      原子体积:9.53 cm3/mol
      密度:19.35 g/cm3
      晶体结构及晶格常数: α-W:体心立方a=3.16524 nm(25℃)
      β-W:立方晶格a=5.046 nm(630℃以下稳定)
      熔点:3410±20℃
      沸点:5927℃
      熔化潜热:40.13±6.67kJ/mol
      升华热:847.8 kJ/mol(25℃)
      蒸发热:823.85±20.9kJ/mol(沸点)
      电阻温度系数:0.00482 I/℃
      电子逸出功:4.55 eV
      热中子俘获面:19.2 b
      弹性模量:35000~38000 MPa(丝材)
      扭力模量: ~36000Mpa
      体积模量:3.108×1011-1.579×107t+0.344×103t2 Pa
      剪切模量:4.103×1011-3.489×107t+7.55×103t2 Pa
      压缩性:2.910-7 cm/kg
      钨有两种变型,α和β。在标准温度和常压下,α型是稳定的体心立方结构。β型钨只有在有氧存在的条件下才能出现。它在630℃以下是稳定的,在630℃以上又转化为α钨,并且这一过程是不可逆的。
      纯度:钨99.95%以上
      密度:19.35g/cm3
      表面状态:磨光或碱洗
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